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金属氧化物ZrO2相关论文
ⅣB族金属氧化物HfO2和ZrO2薄膜的制备、表征和性质研究
本文的主要内容是金属氧化物薄膜HfO2和ZrO2的制备及相应的样品表征和性质研究。我们摸索发展了一种制备HfO2和ZrO2的薄膜的新方法......
学位
金属氧化物HfO2
金属氧化物ZrO2
等离子体辅助
反应脉冲激光沉积
光学性质
高K材料
低温沉积
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