金属线厚度相关论文
该文着重分析金属线厚度对Q值的影响.为此设计了三组电感,它们的金属线厚度分别为5、10和20μm,并用Ansoft HFSS软件进行FEM(finit......
摘要研究了多层金属互连网络的热学模型，详细计算了不同的金属线厚度、金属线宽度对多层金属互连线温度分布的影响。实验结果表明，不......
