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光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究喻小琦，马存恕（广州化学试剂研究所，广州　５１０２８０）（北京化学试剂研究所，北京１０００２２）关键词光刻胶，针孔密度，透射......

光刻胶的针孔密度是检验光刻胶质量的重要项目,它的好坏不仅反应了光刻胶外在的杂质含量,而且也说明了内在的组成,因此国内外生产......