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钒受主能级相关论文
钒掺杂形成半绝缘6H-SiC的补偿机理
研究了钒掺杂生长半绝缘6H-SiC的补偿机理.二次离子质谱分析结果表明,非故意掺杂生长的6H-SiC中,氮是主要的剩余浅施主杂质.通过较......
期刊
6H-SIC
半绝缘
钒掺杂
补偿
钒受主能级
6H-SiC
semi-insulating
vanadium doping
compensation
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