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超薄钛沉积石墨烯基传感器室温氨气响应性能研究
本征石墨烯气体传感器(Gr器件)对NH_3气体的室温响应非常微弱,为此本文采用电子束蒸镀方法在原器件沟道区域分别沉积3 nm、5 nm和1......
期刊
石墨烯基气体传感器
NH3气体
室温检测
灵敏度
恢复性能
钛沉积
graphene based gas sensorNH3 gasroom temperatu
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