钛硅化物相关论文
用电子束蒸发方法在10~(-7)托真空中使单晶硅上蒸上一层Ti膜后,于N_2中进行从500-1000℃10秒钟的快速热退火,由激光喇曼光谱结合薄......
本文通过流片实验,制作了Cr、Ni、Ti等特种金属硅化物和Al金属肖特基二极管,并对其电流电压特性进行了测试比较.结果表明,与Al/Si......
用900℃15秒快速热退火使硅上钛膜在高纯NH_3中同时形成TiN_xO_y/TiSi_2双层结构.研究了TiN_xO_y作为Al的扩散势垒的有效性.结果表......
本文报道了在SIMOX(Separation by IMPlanted Oxygen)薄膜材料上制备钛硅化物的研究结果。研究表明,不同厚度的SIMOX薄膜材料上都......
本文研究了重掺杂对两步快速退火(RTA)形成的钛硅化物的影响及形成机理,认为,重掺杂有妨碍TiSi_2形成的作用,钛硅化物的形成过程由......
用直流溅射法在ＩＴＯ玻璃衬底上溅射金属Ｔｉ膜后用辉光放电法沉积ａ－Ｓｉ，研究了钛硅化物的形成，利用ＸＰＳ，ＲＢＳ分析，确定了反应生成物为ＴｉＳｉ２，且生成物十分有效地阻挡......
