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Micro LED基板Ti阻挡层化学机械平坦化研究
作为元宇宙入口的增强现实/虚拟现实(AR/VR)近眼显示设备。微显示器(Micro LED)有着高对比度、低功耗及长寿命等优越的性能,但因其制造......
学位
Micro LED
钛阻挡层
化学机械抛光
碟形坑
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