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钽酸锂(LiTaO_3,以下简称LT)晶体是一种典型的单晶体多功能材料,具有优良的压电、铁电、声光及电光效应,因而被广泛应用于窄带滤波......
目前化学机械抛光广泛应用于衬底晶片和多层布线的层间平坦化加工中。抛光垫是化学机械抛光(CMP)系统的重要组成部分,具有贮存抛光......
采用不同抛光条件抛光LiTaO3晶片,通过测量其加工表面粗糙度和材料去除率,探讨了化学机械抛光去除机理,分析了抛光垫材料和状态、......
目的实现钽酸锂材料的高效、高质量、低成本加工。方法选择合适的添加剂作为辅料,利用树脂结合剂将3000#的金刚石磨料通过配混料、......
太赫兹（Thz）探测器工作在室温条件下极大地促进了太赫兹科学与技术的应用。超薄（10μm）钽酸锂（LiTaO3）晶片被用作太赫兹探测器敏感元材料......
