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铜-锆合金膜相关论文
柔性基体上纯铜及铜-锆合金膜退火前后微观结构和残余应力的演变
本文利用磁控溅射方法在柔性聚酰亚胺基体上沉积了纯铜(Cu)及铜-锆(Zr)合金膜。通过X射线、场发射扫描电镜、高分辨透射电镜、能谱和X......
会议
柔性基体
纯铜
铜-锆合金膜
微观结构
残余应力
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