铜波导相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

铜波导相关论文

通过硬烘降低SU-8侧壁粗糙度

当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,......

期刊

SU-8胶硬烘粗糙度大深宽比铜波导侧壁波纹

铜波导防锈蚀电镀工艺研究

本文针对我所铜波导出现绿斑锈蚀这一问题,设计并研究了7种不同的涂镀方法,以期找到一种既能满足波导电性能指标要求又具有良好防......

会议

铜波导锈蚀镀银电接触保护剂

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