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铝键合点相关论文
用TOF-SIMS研究半导体芯片铝键合点上的有机沾污
铝键合点的表面沾污增强了对铝合金化表面的腐蚀,并导致微芯片的失效.过去大量的工作多集中在由等离子工艺引起的含氟的无机沾污;很少......
期刊
铝键合点
正离子
半导体芯片
TOF-SIMS
半导体芯片上铝键合点被氟沾污后对可靠性的影响
本文报导根据美国军用标准MIL-STD-883D第1005条规定对半导体器件进行加载寿命实验后金属丝键合点的失效情况。失效的金属丝键合点......
期刊
半导体芯片
寿命实验
金属丝
金属化层
铝键合点
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