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银层超透镜相关论文
背向曝光表面等离子体激元干涉光刻系统中银层超透镜的优化设计
利用表面等离子体激元(SPP)的局域能量增强效应可提高现有光学光刻的分辨率。背向曝光SPP干涉光刻技术可以大面积制备低成本的纳米周......
期刊
表面光学
表面等离波子激元干涉光刻
背向曝光
银层超透镜
surface optics
surface plasmon polaritons interfere
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