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本文以用于DSS(Directional Solidification System定向凝固系统)炉恒压供水系统为研究对象。第一,通过对DSS炉铸锭工艺的分析和研......
对多晶硅锭生产过程中装料工艺和铸锭工艺进行研究,在不增加投入和不降低生产效率的基础上,通过对硅料配比和排布方式进行调整,实......
采用二维轴对称近似的有限元法对DSS450型铸锭炉的温场分布进行理论模拟。对比分析了长晶过程中不同阶段的固液界面形状变化。随着......
介于多晶硅和单晶硅之间的准单晶生长技术逐渐被人们所重视。通过分析单晶硅晶体生长和多晶硅晶体生长的特点,在自主研发的多晶硅......
目前ECM铸锭炉由于热场空间及坩埚尺寸的限制,其投料量最多达450kg。同时由于热场和温度场的局限性导致生产出来的硅锭晶体紊乱且......