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采用EBSD研究了不同线宽和退火前后Cu互连线的织构和晶界特征分布.Cu互连线均具有多重织构,其中(111)织构强度最高.沉积态样品在室......
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一、引言轴向柱塞泵的柱塞油缸在工作过程中不断地进行配流转换,充满低压油的油缸突然和高压腔接通时,缸中的油液会瞬间被压缩,引......
考虑了轴向柱塞泵柱塞油腔在预升、卸压力过程中压力是逐渐变化的情况,建立配流盘滑动摩擦副液压支承力的数学模型,并通过仿真研究......
