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锰的硅化物纳米结构相关论文
锰的硅化物薄膜及纳米结构在硅表面的外延生长
金属硅化物具有低电阻率和高温稳定性,其外延生长与传统的硅基集成电路(IC)工艺兼容,有望用作集成电路器件中的欧姆接触或肖特基势垒接......
学位
外延生长
超高真空扫描隧道显微镜
固相外延生长
反应外延生长
锰的硅化物纳米结构
纳米线
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