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镜面支承相关论文

φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计

在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度......

期刊

应用光学菲索干涉仪标准镜镜面支承有限元法

φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试

针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化......

期刊

应用光学大口径干涉仪参考镜镜面支承有限元法

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