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长条平晶相关论文
高精度可倾转台分度误差校准
针对2.4″以下高精度可倾角度的校准,以多齿分度台、光电自准直仪和长条平晶为计量标准,并由直角夹具组合构建了整套倾角校准装置.......
期刊
可倾角分度误差
长条平晶
圆分度误差封闭原则
排列互比法
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