多晶硅在生产过程中会产生SiCl4（STC）,而SiCl4会对导致环境破坏。利用氢化将SiCl4转化为SiHCl3（缩写为TCS）,可以使SiCl4得到有效的利用......

对多晶硅的冷氢化闭合生产线进行了探讨,总结出一条低能耗、高产量的闭合循环生产线。主要包括如下几道工序:冷氢化,精馏,还原,还......