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阴极弧过滤相关论文
磁过滤真空阴极弧沉积技术制备及在刀具上的实验
研究了一种阴极弧沉积方法。将高端刀具放置在等电势的半球状栅网中进行钛氮化物沉积,在200V的负偏压下,完全避免了电弧的产生,X射......
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阴极弧过滤
氮化钛
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