光波导光学相控阵具有响应速度快、驱动电压低、扫描角度大等特点，成为激光扫描技术最有潜力的研究方向之一。由于制作工艺的限制、......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......