集成电路工艺计算机辅助设计相关硕士博士期刊学术论文

抗蚀剂曝光的模拟与光刻系统空间像模拟紧密相连,一般是用标量衍射方法在特殊几何形状的光源分布和特殊掩模结构的条件下计算的,实......