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基于MEMS氮化铝压电谐振器的湿度传感器研究及应用
湿度传感器在工业和农业等领域发挥了重要作用。在物联网的大背景下,微型化、集成化的MEMS湿度传感器逐渐成为未来的发展方向。与......
学位
MEMS湿度传感器
压电谐振器
相对湿度
闭环电路
呼吸监测
露点检测
基于声表面波及微纳技术的高性能湿敏传感器研究
湿度在工业控制、医疗卫生、环境监控等多个领域都必须得到严格地监控。湿度检测在仓储、粮食及食品防霉、温室种植、环境监测、仪......
学位
湿敏传感器
声表面波
纳米材料
静电纺丝
露点检测
无线检测
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