静电伺服相关论文
该文采用了当前最为先进的微机械加工技术.利用牺牲层方法,结合半导体平面工艺,设计制出了一种具有栅型结构的惯性敏感电容.通过有......
详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计.通过结构建模以及模型仿......
