静电开关相关论文
微型电子机械系统(MEMS)采用与集成电路(Integrated Circuits,IC)技术相兼容的加工技术，制造出尺寸达到微米甚至纳米级的机械，尺寸效......
本文首先简要介绍了微电子机械系统的各种模型，前人已做的工作，发展前景等背景知识以及本文的主要结论.
其次研究了静电开关动......
在微型电子机械系统(MEMS)中，多种非线性因素严重影响其力学特性．本文对一种具有典型结构的两端固定梁型微静电开关，考虑机械、静电及......
随着MEMS技术在射频领域的应用,产生了一个全新的研究领域——RF MEMS,它使得射频器件的微型化成为可能。RF MEMS器件不仅在体积上......
