非晶硅氧相关硕士博士期刊学术论文

系统地研究产业化甚高频等离子体增强化学气相沉积法制备p型a-SiOx∶H薄膜的工艺,并将p型a-SiOx∶H作为a-Si∶H单结电池的窗口层,......