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非球面大型光学元件相关论文
衍射型长程大型非球面轮廓测量仪
分析了基于衍射准直技术的f-θ系统的特点,在此基础上提出了一种新型长程面形仪用以实现对大型非球面光学表面,特别是同步辐射中掠入......
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