面形补偿相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

面形补偿相关论文

径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用

针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了......

期刊

重力光学器件表面变形面形补偿反射镜面预紧力有限元方法补偿作用面形误差面形

CAE在塑料光学零件注射成型中的应用

目前光学塑料非球面零件在各种光电仪器中的应用越来越普遍。针对在注射成型光学塑料零件时对质量的特殊要求，本文介绍了利用注射成......

期刊

注射成型 CAE 光学塑料零件最优化面形补偿

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