顸表面和底表面粗糙度相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

顸表面和底表面粗糙度相关论文

基于AFM单晶硅台阶线边缘粗糙度、顶表面和底表面粗糙度的测量

采用原子力显微镜以TOP-DOWN方式测量单晶硅刻线单侧形貌。提出以单次扫描线上5个最低测量值的平均值为高度参考点且各条扫描线参......

期刊

纳米计量原子力显微镜压电驱动器边缘粗糙度顸表面和底表面粗糙度 nanoscale measurement atomic force microscop

看过本文同时还关注