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GaN/Si材料的外延生长研究
本文主要研究采用高温AlN缓冲层外延生长GaN/Si(111)材料的工艺技术。利用高分辨X射线双晶衍射(HRXRD)分析研究了GaN/Si(111)样品......
学位
外延生长
GaN
Si(111) AIN缓冲层
预铺AI
应变状态
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