高功率微脉冲磁控溅射相关硕士博士期刊学术论文

利用高功率微脉冲磁控溅射技术,在不锈钢表面制备了TiNx薄膜。所获得的TiNx薄膜光滑且致密,具有(220)晶体取向。通过电化学工作站......