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采用低压三步法通磷源扩散制备低掺杂浓度的p-n结,并应用于高阻密栅p型单晶硅钝化发射极局域背接触(PERC)太阳电池.通过增加第二步......
随着高效晶硅太阳电池技术的发展,低压扩散工艺以其均匀性好,产量大,成本低的优势,成为未来发展的主要方向。对低压扩散工艺进行优化研......
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扩散高方阻匹配密栅丝网印刷工艺是提升单晶硅太阳电池效率的主要方向之一,高方阻,即浅结扩散能够减少“死层”,密栅网版缩窄了金......