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本文采用分离送入反应气体的热丝法,制备{110}晶面占优的定向金刚石薄膜;研究了沉积几何对定向形貌的影响。实验表明,若要得到定向形貌,沉积......
高纯甲烷气体中痕量氮气的准确分析和定值,是制备高纯甲烷中微量氮气标准物质的关键.本文采用重量法制备一系列甲烷中微量氮气标准......
针对国际CCQM组织的K66高纯甲烷纯度分析关键比对,建立高纯甲烷中杂质的分析和定量方法。根据标准物质的制备过程和对稀释气中杂质......
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