论文部分内容阅读
感应电悬浮微机械在加速度传感器中的应用
【机 构】
：
大学
【出 处】
：
第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
：
1995年期
其他文献
提出发动机加速状态下的近似数学模型，对模型参考自适应控制规律进行了分析和研究，并用超稳定性理论设计了加速过程中模型参考自适应控制的算法。同时进行了数模混合实验，得出了
该文介绍了一种新型的扭摆式加速度传感器，应用隧道电流对隧道电极间距离的高敏感性，采用检测电流的方式，较以往的测试方法具有灵敏度高、频率范围宽等特点。应用体硅加工技术和
自2009年海峡两岸首届经济暨金融学术研讨会在厦门举办以来,来自两岸金融界的专家学者以及官员的声音频传,大家共同提出了“建设厦门两岸区域性金融服务中心”等主张,相信它
该文介绍了一种硅电容加速度传感器的设计和研制，通过采用新型三维无掩模腐蚀工艺，形成对称梁差动电容结构以减小传感器的横向效应。同时讨论了器件的静态特性和阻尼特性，提出减
该文利用随机振动信号做激励源，研究了数种加速度传感器在随机信号激励下的动态误差随频率的分布规律，并对动态误差值进行了定量计算，结果指出，传感器在动态工作状态下，对信号或多