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人们在研究微电机的过程中发现:转子与基底和轴承的摩擦已构成严重影响其运转动态性能的瓶颈障碍,它的转速和寿命远未达到理论值,用电......
从静电悬浮式加速度传感器的工作原理出发,针对航天器上的微重力水平,初步设计了高灵敏静电悬浮式加速度传感器,其测量量程设计为30μ......