【摘 要】
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变形镜是自适应光学系统中不可或缺的波前校正器,基于MEMS技术的微变形镜是目前一个非常有前途的发展方向,它具有驱动电压低、易于系统集成、成本低廉等优点。本文基于表面硅工艺设计了一种新型弹簧支撑静电吸引型12单元分立式微变形镜如图1,其中单个变形镜可分为两部分,驱动部分由四根弹性双端固支梁支撑一个平行板电容器构成,驱动部分之上就是变形镜的镜面结构部分,在静电力驱动下,镜面将跟随电容器做整体平行移动如
【机 构】
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中国科学院 光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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变形镜是自适应光学系统中不可或缺的波前校正器,基于MEMS技术的微变形镜是目前一个非常有前途的发展方向,它具有驱动电压低、易于系统集成、成本低廉等优点。本文基于表面硅工艺设计了一种新型弹簧支撑静电吸引型12单元分立式微变形镜如图1,其中单个变形镜可分为两部分,驱动部分由四根弹性双端固支梁支撑一个平行板电容器构成,驱动部分之上就是变形镜的镜面结构部分,在静电力驱动下,镜面将跟随电容器做整体平行移动如图2,同时,弹簧的长度将决定驱动器的弹性系数,弹簧越长则弹性越大,即在相同静电力(由电容器极板面积和间距决定)的驱动下可提高变形镜的最大行程。另外,不同变形镜单元之间通过双端固支梁连在一起,不是完全分立的,这样能够提供一定的绞连值,减小变形镜边缘的衍射效应,还能够避免连续镜面绞连值过大的缺陷。
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