切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
PECVD工艺研究
PECVD工艺研究
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lomon521mutou
【摘 要】
:
研究了PECVD设备,并用此设备进行了SiO〈,2〉和Si〈,3〉N〈,4〉淀积工艺研究,取得了大面积均匀性≤±1℅的结果,除此之外还对PECVD的其它应用进行了初步探索。
【作 者】
:
韩阶平
刘辉
魏珂
田如江
【机 构】
:
院微电子中心(北京)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
设备
工艺研究
均匀性
大面积
应用
淀积
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
研究了PECVD设备,并用此设备进行了SiO〈,2〉和Si〈,3〉N〈,4〉淀积工艺研究,取得了大面积均匀性≤±1℅的结果,除此之外还对PECVD的其它应用进行了初步探索。
其他文献
中等Péclet数具势悬浮系统的沉降
尝试解决中等Péclet数情况下悬浮系统中受势力影响的粒子沉降问题。采用流守恒式的离散化方法将对分布方程离散化,分析了稳定系统的对分布函数的近场和远场行为,然后通过迭代
会议
悬浮系统
对分布函数
离散化方法
对分布方程
稳定系统
粒子沉降
流守恒
迭代法
行为
试解
势力
近场
计算
满足时代发展充分服务大众r——新时期档案数字化建设的对策及功能研究
现阶段我国的信息技术发展速度较快,管理档案的模式由实体管理档案向数字化管理档案逐渐过渡,以达到存储数字化以及通过网络连接.运用计算机系统来管理,使构成的档案信息库完
期刊
新时期
档案数字化
建设对策
服务大众
V槽隔离与深槽隔离技术
简要介绍了可用于高频互补双极工艺的V槽隔离和先进的深槽隔离技术的研究情况。
会议
隔离技术
深槽
互补双极工艺
高频
创新方式借智借力r——新媒体时代档案文化传播模式探讨
在科技、经济快速发展的推动下,信息技术得到了迅猛发展,网络媒体已经深入人们学习、生活与工作的方方面面,为人们带来了极大的便利,也促使档案文化传播方式创新.本文基于新
期刊
创新方式
新媒体时代
档案文化
PECVD SiO<,2>/n-GaNMOS结构高频C-V特性
会议
结构
高频
SnO<,2>-Ag-SnO<,2>结构室温H<,2>S敏感特性研究
报道了采用PECVD技术制备的SnO-Ag-SnO结构薄膜,在20℃下对HS具有良好的气敏特性,即高灵敏度、良好的选择特性和开关式响应特性。
会议
结构薄膜
室温
响应特性
气敏特性
高灵敏度
开关式
选择
技术
循环氩离子轰击对等离子体增强休学气相沉积(PECVD)TiN膜耐腐蚀性能的影响
该研究设计了循环氩离子轰击-PECVD TiN工艺。运用扫描电子显微镜、能谱仪、恒电位仪等仪器设备,研究循环氩离子轰击对PECVD TiN膜耐腐蚀性能的影响及作用机理。结果表明:循环
会议
PECVD
TiN膜
耐蚀性
Ar轰击
超H,2PECVD制备μc-SiGeH、μc-SiH薄膜的微结构及输运特性
会议
PECVD
H薄膜
微结构
输运特性
基于“数字中台”模式的高校产教融合探索与实践
本文站在高校视角,从产教融合的概念和本质出发,重点结合学校、校友企业发展现状,梳理产教融合的发展逻辑.提出产教融合“中台”建设模式,以此判断未来的发展方向和机会,探索
期刊
产教融合
数字中台
数字化转型
引企入教
高校“专升本”档案转递规范探讨
高校“专升本”档案是“专升本”招生的重要凭证.随着“专升本”招生政策的深入实施,“专升本”档案的重要性愈加凸显.本文对“专升本”档案重要性和转递过程中存在的问题进
期刊
学生档案
转递
规范
与本文相关的学术论文