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该文在大气压下用燃烧火焰法制备了金刚石薄膜。金刚石薄膜的沉积受到许多因素的影响。实验表明，氧—乙炔流量比（Ｒ）对薄膜质量有重要影响，实验给出了流量比（Ｒ）的最佳值。
火焰法中改变流量比（Ｒ）对合成金刚石薄膜的影响
【摘 要】
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该文在大气压下用燃烧火焰法制备了金刚石薄膜。金刚石薄膜的沉积受到许多因素的影响。实验表明，氧—乙炔流量比（Ｒ）对薄膜质量有重要影响，实验给出了流量比（Ｒ）的最佳值。
【机 构】
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大学
【出 处】
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第二届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1995年期
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