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非ODS清洗剂中受控物质的测试方法
非ODS清洗剂中受控物质的测试方法
来源 :2003年清洗技术国际论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hongxing35
【摘 要】
:
气相色谱/质谱法是较低沸点有机物定性和定量测量的常用方法之一,本文详细介绍了该方法在非ODS清洗剂中三氟三氯乙烷(CFC-113)、1,1,1-三氯乙烷和四氯化碳等受控物质检测中的应
【作 者】
:
张建辉
何秀坤
汝琼娜
【机 构】
:
天津电子材料研究所
【出 处】
:
2003年清洗技术国际论坛
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
ODS清洗剂
受控
物质检测
三氟三氯乙烷
四氯化碳
气相色谱
方法
定量测量
质谱法
有机物
低沸点
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气相色谱/质谱法是较低沸点有机物定性和定量测量的常用方法之一,本文详细介绍了该方法在非ODS清洗剂中三氟三氯乙烷(CFC-113)、1,1,1-三氯乙烷和四氯化碳等受控物质检测中的应用。
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