三明治式硅微加速度计工程化研究

来源 :2003年惯性仪表与元件学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qinlinger
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国内硅微加速度计的研究在实验室状态下取得了很大进展,但是在产品一致性、长期稳定性问题及工程实用化方面存在一系列问题,不能达到工程应用的要求.针对这一问题,本文讨论了"三明治式"静电力反馈闭环硅微加速度计工程样机的研制.测试结果表明:研制的硅微加速度计在长期稳定性、一致性和应用环境的适应性等方面有大的突破,接近实用的工程样机,进一步深入的工程化工作正在展开.
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