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本文对基于串联短路共面波导结构的超宽带MEMS带阻滤波器进行了研究,获得了一类具有尖锐的低频段截止频率的超宽带MEMS带阻滤波器。带阻滤波器的20-dB阻带带宽为20.5 GHz,整个阻带的回波损耗低于0.3 dB。其低通部分的插入损耗小于0.8 dB,高通部分的插入损耗小于1.5 dB。设计的仿真结果与测试结果符合的很好。