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本文除了简单地介绍了几个与能谱仪有关的电镜主要参数外，着重评述了Si(Li)能谱仪的主要参数和指标，最后还介绍了新型的电制冷的SDD能谱探测器的一些特点以及对能谱仪未来的展望。期望这些评述能给潜在的用户和新用户有些启发，对老用户也许也能起到某些参考作用。
能量色散X射线谱仪参数指标的评述
【摘 要】
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本文除了简单地介绍了几个与能谱仪有关的电镜主要参数外，着重评述了Si(Li)能谱仪的主要参数和指标，最后还介绍了新型的电制冷的SDD能谱探测器的一些特点以及对能谱仪未来
【机 构】
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工业和信息化部电子第五研究所广东广州510610
【出 处】
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2011第十四届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2011年11期
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