【摘 要】
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催化燃烧式传感器是目前气体传感器领域里的一个重要研究方向。最早的催化燃烧式传感器是美国人采用裸铂丝制作的用于检测瓦斯气的传感器,1957年,英国人发明了在铂丝圈上涂加载体和催化剂的催化传感器。随着微电子与微系统技术的发展,表面和体微加工技术进入了微机械加工领域,并很快在气体传感器制作中得到应用。本文是基于非硅微加工技术研究基础上,借鉴了微桥细丝的研究理念,设计了一种微双桥结构的催化煤油传感器,以可
【机 构】
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哈尔滨工程大学 材料与化工工程学院,哈尔滨150001;中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨150001
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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催化燃烧式传感器是目前气体传感器领域里的一个重要研究方向。最早的催化燃烧式传感器是美国人采用裸铂丝制作的用于检测瓦斯气的传感器,1957年,英国人发明了在铂丝圈上涂加载体和催化剂的催化传感器。随着微电子与微系统技术的发展,表面和体微加工技术进入了微机械加工领域,并很快在气体传感器制作中得到应用。本文是基于非硅微加工技术研究基础上,借鉴了微桥细丝的研究理念,设计了一种微双桥结构的催化煤油传感器,以可微加工的Al2O3膜材料替代单晶硅作为微桥制作材料以及带有隔热空隙的芯片结构研制开发了新型催化燃烧式煤油传感器。
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