【摘 要】
：
石墨烯作为"完美原子晶体"的二维结构单层碳原子材料，在电子和光电等领域有着重要的应用。其相关研究已被授予今年的诺贝尔物理奖。由于其优越的电导和透光性，目前石墨烯最实际和成功的应用是制作透明电极、透光板、透明触摸屏等。这些应用大都是在可见光频段。由于常规透明电极材料(如ITO)在红外频段的透光性不太好，目前没有较好的红外透明电极材料。因此，在制备红外光电器件(如红外探测器)中不得不采用金属电极。例如
【机 构】
：
中国科学院固体物理研究所,合肥230031;云南大学物理系,昆明650031 中国科学院苏州纳米和
【出 处】
：
2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
石墨烯作为"完美原子晶体"的二维结构单层碳原子材料，在电子和光电等领域有着重要的应用。其相关研究已被授予今年的诺贝尔物理奖。由于其优越的电导和透光性，目前石墨烯最实际和成功的应用是制作透明电极、透光板、透明触摸屏等。这些应用大都是在可见光频段。由于常规透明电极材料(如ITO)在红外频段的透光性不太好，目前没有较好的红外透明电极材料。因此，在制备红外光电器件(如红外探测器)中不得不采用金属电极。例如，在制备碲镉汞光伏型红外探测器时，金属电极会遮盖20％～30％的芯片有效探测面积。如采用透明电极替代金属电极，可增大辐照面积并提高探测器的量子探测效率。
其他文献
偏振状态作为光源的重要属性，在光传输以及光与物质相互作用过程中都有着至关重要的影响。在广泛的应用领域里，研究人员已经对偏振状态的影响作了深入研究。然而，以前的研究主要是集中在偏振状态空间一致的条件(线性偏振，圆偏振，椭圆偏振)。近年来，偏振状态空间异性的光源(径向偏振和角向偏振)吸引了越来越多的关注。而径向偏振光束在高密度存储，高分辨率成像，生物探测，光学显微镜，激光加工以及表面等离子激元等领域都
The multi-component extraction systems have accurately described by establishing the balance state equations of the system.On the basis of the state equation of cascade-extraction system, bi-component
In order to develop a new method for removal of heavy metals from a dilute wastewater, the adsorption process and mechanism of zinc (Ⅱ) ions from aqueous solutions by opal e were investigated.The infl
本文给出了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜的结构设计和制造方案，通过对器件的测试对比了三种不同电极空间分布方式的变形镜的静态位移量.近年来，自适应光学中的MEMS变形镜广泛应用于天文学以及生物成像等技术.MEMS变形镜常采用基于静电吸引力的平板电容驱动器来实现纵向位移，其结构简单，响应速度快，但存在静电塌陷问题[1]，很难实现较大的纵向冲程.
SiO2具有优良的光学特性及其稳定的化学特性，在PolyMUMPs工艺中被作为牺牲层，为了完成结构层的制作，需对SiO2层进行刻蚀，因此对SiO2的干法刻蚀工艺研究具有重要意义。实验中使用的SiO2薄膜采用射频磁控溅射法得到；掩模采用AZ1500光刻胶；刻蚀气体采用CHF3和O2；刻蚀机是中科院微电子中心制造的ME-3A型多功能磁增强反应离子刻蚀机(MERLE)。由于刻蚀过程中的本底真空与反应气体
变形镜是自适应光学系统中不可或缺的波前校正器,基于MEMS技术的微变形镜是目前一个非常有前途的发展方向,它具有驱动电压低、易于系统集成、成本低廉等优点。本文基于表面硅工艺设计了一种新型弹簧支撑静电吸引型12单元分立式微变形镜如图1,其中单个变形镜可分为两部分,驱动部分由四根弹性双端固支梁支撑一个平行板电容器构成,驱动部分之上就是变形镜的镜面结构部分,在静电力驱动下,镜面将跟随电容器做整体平行移动如
摩尔定律一直被认为是半导体行业发展的金科玉律,而要让摩尔定律一直有效的关键是不断提高光刻分辨力。众所周知,从投影式光刻机的分辨力公式可以看出,提高分辨力的途径是降低工艺因子、缩短曝光波长和增大数值孔径,而缩短光源波长和增大数值孔径必须付出高昂的代价。为此,各国科学家努力寻求新的提高光刻分辨力的方法和技术,以满足下一代光刻技术的迫切需求。纳米压印光刻(nanoimprint lithography,
当金属纳米粒子受到光波激发时，会在某一频率处出现集体振荡的现象，即局域表面等离子体共振(LSPR)，表现出明显的消光特性，基于这种独特的光学特性，使得在生物传感和化学传感等方面具有重要的应用前景。纳米粒子阵列由于粒子间的耦合相互作用，能够获得窄的线宽和高的传感灵敏度。本文采用时域有限差分法(FDTD)，对Ag纳米柱粒子构成的三角、方形和六角三种有限阵列排布方式下的LSPR传感特性进行了研究，讨论了
本文介绍了以ARM芯片为核心器件,研制出低噪声的信号采集卡,所设计的采集卡噪声RMS值少于0.2 mV,实现和满足对微小信号以及大动态范围信号采集的要求.在文中,以商业化的气相色谱系统为平台,通过其分离色谱柱以及检测器对瓦斯气体进行分离、检测,然后利用所设计的信号采集卡置换其信号采集系统,对检测器所获得的微小信号进行采集试验.从实验可以看出,信号采集卡对微弱信号的采集显示了较高的分辨率和较低的噪声
表面等离子共振(SPR)传感器具有灵敏度高、无标记、实时、快速等优点,能够实现药物的快速检测,将其与分子印迹技术结合可以提高传感器的选择性,成为近来研究的热点.氯磺隆是一种用量少,浓度低,但是属于长残效的除草剂,低浓度快速检测是研究的主要方向.本研究使用中科院电子所自行研制的高灵敏度单通道SPR分析仪和进样装置,仪器为棱镜耦合型SPR传感器结构,其检测角度范围是40～70°,折射率检测范围在1.0