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介绍了一种基于厚膜工艺的电镀铜加厚功率型基板制作技术。给出了制作工艺过程,以及测试数据；基板为高热导率的氧化铍陶瓷(BeO),电镀铜加厚了30μm,同传统厚膜基板导体电阻测试比较,1×1mm2方阻从5mΩ降低到3mΩ。导体电阻的降低对提高功率类混合电路的效率有着较重要意义。
厚膜电镀铜功率型基板技术
【摘 要】
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介绍了一种基于厚膜工艺的电镀铜加厚功率型基板制作技术。给出了制作工艺过程,以及测试数据；基板为高热导率的氧化铍陶瓷(BeO),电镀铜加厚了30μm,同传统厚膜基板导体电
【机 构】
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中国电子科技集团公司 第二十四研究所,重庆 400060
【出 处】
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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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2007年期
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