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会议论文
硅压阻式压力传感器的研制及性能测试
硅压阻式压力传感器的研制及性能测试
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerryfong
【摘 要】
:
微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器,进一步研制小体积高精度的传感器扩大应用范围已是事在必行.本文主要从提
【作 者】
:
蒋庄德
【机 构】
:
西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
压阻式压力传感器
微压力传感器
应用范围
特点应用
设计制作
静态测试
高精度
重量轻
掩膜版
小体积
体积小
性能
实验
成本
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微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器,进一步研制小体积高精度的传感器扩大应用范围已是事在必行.本文主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.
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