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用等离子体在室温下向硅表面掺入固态杂质
【机 构】
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北京大学物理学院,北京 100871 北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京 10087
【出 处】
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第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会
【发表日期】
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2016年4期
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