【摘 要】
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针对固态量子信息、纳米器件和新颖纳米材料研究领域对高速高灵敏度电荷探测的新需求，设计制备一种集成化硅基射频单电子晶体管扫描探针(RF-SET Scanning Probe)，以此为核
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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针对固态量子信息、纳米器件和新颖纳米材料研究领域对高速高灵敏度电荷探测的新需求，设计制备一种集成化硅基射频单电子晶体管扫描探针(RF-SET Scanning Probe)，以此为核心，通过射频读出电路、扫描系统和低温系统等外围系统的支持，成为具备高灵敏度、高速和高空间分辨率的电荷扫描成像与示波和原子力显貌成像系统.该系统能够测量并记录被测微纳器件或电路中任意一点处的电势及其动态变化，通过探针与音叉的集成，构成原子力显微扫描系统，实现表面形貌和电荷分布的联合扫描成像.这样一种集成化硅基射频单电子晶体管扫描探针及其扫描成像与示波系统，重点在于在SOI基底上制备并集成扫描探针、单电子晶体管和射频共振电路的微纳加工技术、微组装技术和后续软件控制技术.SOI基射频单电子晶体管扫描探针要求在同一SOI基片上制备集成单电子晶体管，射频共振电路以及硅基绝缘探针，这种独特的设计对微纳加工制备技术提出了非常高的挑战."射频单电子晶体管探针"将是一项填补国际空白的创新技术.该系统集高灵敏度、高速和高空间分辨率三大功能为一体，是国际上已有技术的创新性集成和发展.
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