1999年国际内部审计师协会(ⅡA)对内部审计做出新的定义。该定义突出强调内部审计为企业目标实现服务的功能。此后,社会各界开始广泛关注内部审计对实现企业目标的作用。2002年,《萨班斯一奥克斯利法案》、美国证券交易委员会.(SEC)都对设立内部审计部门作出规定。由此可见,内部审计日益得到相关监管机构及专业协会的认可。我国现代内部审计制度虽然起步较晚,但取得了长足的发展。2004年,我国颁布《中央企业内部审计管理暂行办法》及2008年对外发布《企业内部控制基本规范》都对内部审计提出更高的要求。由此可见,内部审计可以提高企业绩效的功能已得到国内外各界的广泛认可。然而,由于大量的文献对内部审计质量与企业绩效的关系研究主要集中于国有企业及非家族制的民营企业。而对于更加适合开展内部审计工作的家族企业在内部审计质量与企业绩效关系上的研究少之又少。随着我国经济体制的变革,尤其是改革开放政策的推动,家族制企业得到长远发展,无论是在数量还是质量上无疑成为我国经济的重要促进力量。内部审计有助于提高企业绩效的作用的发挥很大程度上取决于内部审计质量的高低。因此,对家族企业内部审计质量与企业绩效之间关系的研究也具有更加重要的现实意义。本文以2011-2014年深交所创业板上市公司数据作为样本,剔除ST类、金融保险及数据缺失后的样本,共得到491个样本。以内部审计规模、是否设立内部审计制度及内部审计部门的隶属关系为解释变量,用总资产收益率ROA、净资产收益率ROE来衡量家族企业的绩效。运用多元回归分析研究家族企业内部审计质量与企业绩效之间的关系。研究结果表明,制定内部审计制度的家族企业绩效要比没有制定内部审计制度的家族企业绩效要好；家族企业内部审计规模越大,企业绩效越好。两者存在显著正相关关系；内部审计部门的组织隶属关系与企业绩效没有显著的相关性。本文的研究揭示了家族企业内部审计质量与企业绩效之间的关系,本文的结论对创业板家族企业加强内部审计质量建设,进而提高企业绩效具有一定的指导意义。