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Cr-Al-N系薄膜正成为适用范围更广的工具硬质涂层。本文结合现有报道综合分析了铝含量、组织结构高温稳定性和添加其他微量元素等几个方面对CrAlN系硬质涂层抗氧化性能的影响，期望为进一步提高CrAlN薄膜高温抗氧化性的开发提供有益的参考。
影响CrAlN薄膜高温抗氧化性的重要因素
【摘 要】
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Cr-Al-N系薄膜正成为适用范围更广的工具硬质涂层。本文结合现有报道综合分析了铝含量、组织结构高温稳定性和添加其他微量元素等几个方面对CrAlN系硬质涂层抗氧化性能的
【机 构】
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华南理工大学材料学院
【出 处】
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广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
【发表日期】
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2010年期
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