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光学器件超光滑表面的加工，除尺寸精度、面型精度、表面粗糙度等指标外，还要求超光滑表面的完整性。亚表面损伤作为表面内部质量的重要一环，涉及超光滑表面的完整性，严重影响高精光学元件的应用效果，尤其在激光核聚变等短波长光学领域。研究发现：对光学陶瓷等硬脆材料超光滑表面的磨削成型加工，不管是脆性磨削还是延性磨削，都不同程度得存在亚表面损伤。这就需要一系列测量方法和加工工艺来保障表面及其内部质量。光学陶瓷作为一类新的光学材料，具有优越的光学性能和材料性能，相对光学玻璃有较好的强度和耐磨性，热导率；相对光学晶体，又具有制备容易，可制备尺寸大等优点。本文根据这一现象提出一种光学陶瓷材料的亚表面损伤深度的测量方法。